鏡面加工･ラッピングをはじめ超精密機械加工を得意としています。鏡面加工・ラップの加工面積はφ1000まで。大型平面研削盤1500*600。

鏡面加工、ラッピング等の超精密な加工を得意としております。鏡面加工・ラップの加工面積はφ1000まで。厚さ精度は±1μ以下仕上げ。面粗さRa5ナノ、平坦度0.1μを実現。材質は各種金属・セラミック・新素材などに対応可能です。

製品・技術のご紹介

大口径の研磨･ﾗｯﾌﾟ加工φ1000まで対応します。金属･セラミックス基板の鏡面加工ではφ100でRa0.005μ以下、平面度0.1μ、平行度1μ以下の加工を致します。
LIGAプロセスのボトム金型として有効です。平面度･平行度・面粗さの高精度を同時に仕上るので、各種吸着板や精密ステージに高品質を実現します。